中频电源_中频电源控制板说明书

中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用

1、中频交流脉冲磁控溅射电源是一种在二级高频变换模式下运行中频电源的设备中频电源，其主要功能是提供双极性脉冲输出。这种电源采用互补调节的正反脉冲宽度中频电源，以实现对脉冲的精确控制。中频建设电源使用两个溅射靶作为负载，这两个靶会交替工作。

2、中频交流磁控溅射电源是一种采用二级高频变换模式运行的设备，其工作原理是产生交流正弦波输出，设定的输出频率通常为40千赫兹。这种电源的核心特性在于其设计有两组溅射靶，这两组靶是交替工作的。在工作过程中，一个溅射周期内，靶材大部分时间处于反向电压截止状态，这使得靶材表面的电荷得以充分释放。

3、本文将为您详细介绍中频交流磁控溅射电源的相关技术参数和特性。该电源的功率范围广泛，从10千瓦至120千瓦，支持AC380V的三相四线制输入电源，工作频率稳定在50-60赫兹，波动范围不超过±10%。

中频工频高频的界限是多少赫兹

1、中频电源一般为一千赫兹至十千赫兹，超音频电源一般为十千赫兹至五十千赫兹，超音频为十千赫兹至一百千赫兹，高频电源一般为一百千赫兹至三百千赫兹。

2、低频50－300赫兹，中频1250－3300赫兹，高频6500赫兹及以上。许多场涉及到“高低频”，即高低频，但一般指各种物理振荡，其中有许多振荡，可能是电流、粒子、电磁场等振动。“高频和低频”的描述导致了不同的结果。

3、中频是指频率在1250Hz到3300Hz之间的信号。而高频则是指频率在6500Hz以上的信号。在不同的领域中，高频和低频这两个术语通常用来描述物理上的振动情况，比如电学中的电流、质点或电磁场的振动。不同频率的振动在电路中会引起不同的反应，例如电感和电容对不同频率的电流表现出来的阻抗是不同的。

4、低频是50HZ~300HZ，中频是1250HZ~3300HZ，高频是6500HZ以上。很多领域涉及“高频低频”，它指频率的高低，不过一般而言是指物理上的各种振荡，其中电学里面有很多振荡，可能是电流，质点，电磁场等振动，“高低频”是对振动情况的描述，高频低频引起的结果也不一样。

中频电源和直流电源区别

中频电源和直流电源区别：中频电源：中频电源是一种静止变频装置，将三相工频电源变换成单相电源。对各种负载适应力强、适用范围广。直流电源：直流电源，是维持电路中形成稳恒电压电流的装置。如干电池、蓄电池、直流发电机等。

中频电压是载波交流电峰值电压，直流电压是工作电压。如果用电容滤波，就会得到纯的中频交流电压，这就是我们要求的交流信号。如果用电感滤波，就会得到直流电压，这个对输出电路有一定的影响。

首先中频电源和直流电源（不知道是不是你所说的普通电源）的抗毒化的能力是不一样的，而且直流溅射由于迟滞效应的存在，一旦中毒了又不能自行恢复。

所以中频功率始终小于直流功率。但是，好的中频电源，它们之间的差别（或者说电源的损耗）是不大的，在5%以内是合理的。

单相中频电源的功率如何计算啊?如中频电压是580V,中频电流是330A,中...

1、直流电压乘以直流电流，计算出的是直流功率。直流功率除包含中频功率外，还包含了滤波元件（电抗器或直流滤波电感）、逆变可控硅或IGBT元件以及中频输出到负载的连接母线的损耗。所以中频功率始终小于直流功率。但是，好的中频电源，它们之间的差别（或者说电源的损耗）是不大的，在5%以内是合理的。

2、1 我厂的500kg 中频炉， 其中频电源装置进线采用380V 三相电源， 额定输出功率250kW。中频电压750V ， 中频电流550A。有相序指示电路及显示， 内有整流控制电压表， 整流脉冲电流表， 逆变控制电压表， 逆变脉冲电流表， 有工作检查转换开关。

3、电压互感器故障。原因和处理方法：检查电压互感器绝缘是否烧焦，检查接线是否松动。不能排除时可以通过更换新的电压互感器进行判断。中频功率不能增大。 　原因和处理方法：（1）电位器的输出电压值没有变化。电位器损坏或电位器的电源电压故障。（2）过电流保护动作。

4、直流电压和中频电压达到额定值，但中频电流却很小．中频功率达不到额定值。（5）电热电容器耐压降低或电热电容器底座因灰尘、水、油等造成电热电容器放电。拆掉电容器上的铜板，用1 000V兆欧表检测。清理电热电容器底座上的灰尘、水，油污。

中频交流磁控溅射电源原理及其作用

1、中频交流脉冲磁控溅射电源是一种在二级高频变换模式下运行中频电源的设备中频电源，其主要功能是提供双极性脉冲输出。这种电源采用互补调节的正反脉冲宽度，以实现对脉冲的精确控制。中频建设电源使用两个溅射靶作为负载，这两个靶会交替工作。

2、中频交流磁控溅射电源是一种采用二级高频变换模式运行的设备，其工作原理是产生交流正弦波输出，设定的输出频率通常为40千赫兹。这种电源的核心特性在于其设计有两组溅射靶，这两组靶是交替工作的。在工作过程中，一个溅射周期内，靶材大部分时间处于反向电压截止状态，这使得靶材表面的电荷得以充分释放。

3、使用环境方面，电源需要在0-40℃的温度范围内正常工作，相对湿度需控制在85%以下，确保在清洁无尘、无腐蚀性易燃气体的环境中运行，同时要求空气流通良好。对于冷却水，其需保持清洁，不含矿物质和其中频电源他可溶性物质，水温应维持在20-30℃，水压稳定在0.15±0.05兆帕。

4、磁控溅射技术：所谓磁控溅射就是利用阴极表面配合的磁场形成电子陷阱，使在E×B的作用下电子紧贴阴极表面飘移。

5、磁控溅射是在二极直流溅射的基础上，在靶表面附近增加一个磁场。电子由于受电场和磁场的作用，做螺旋运动，大大提高了电子的寿命，增加了电离产额，从而放电区的电离度提高，即离子和电子的密度增加。放电区的有效电阻变小，电压下降。

6、这些粒子径直坠向基片，形成薄膜，而二次电子则在途中继续电离，强化了过程的效率。磁场的神奇作用：垂直的磁场线像无形的丝线，约束电子在靶材附近，延长其在等离子体中的旅程，显著提高了参与气体分子碰撞和电离的概率。